ZNX-6R各项操作根据人机工程学设计，最大限度减轻操作
者的使用疲劳。其模块化的部件设计，可对系统功能进行自
由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多
种观察功能，可根据实际应用，进行功能选择。
宽视场铰链式三目观察筒
正像铰链三目观察筒，所成像的方位与物体实际方向相同，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于观察与操作。
大行程移动平台设计
采用6寸平平台设计，行程158×158mm，可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。
高精度物镜转换器
转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制。
安全、稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。
技术规格
|
光学系统
|
无限远色差光学系统
|
|
观察筒
|
30°倾斜，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节 ：50-76mm，分光比 100:0 或 0:100（支持 25/26.5mm 视场）
|
|
30°倾斜，倒像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节 ：50-76mm，三档分光比 0:100 ；20:80 ；100:0（支持 25/26.5mm 视场）
|
|
5-35°倾角可调，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50-76mm，单边视度调节：±5 屈光度，两档分光比 100:0 或 0:100（支持 22/23/16mm 视场）
|
|
目镜
|
高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm，可带测微尺，可选视度可调
|
|
高眼点大视野平场目镜 PL10X/23mm，视度可调
|
|
高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm，视度可调，可带刻度十字分划板
|
|
高眼点大视野平场目镜 PL10X/26.5mm，视度可调，可带刻度十字分划板
|
|
高眼点大视野平场目镜 PL15X/16mm
|
|
物镜
|
长工作距平场明暗场消色差金相物镜（5X、10X、20X、50X、100X）
|
|
|
无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜（5X、10X、20X、50X、100X）
|
|
|
超长工作距明暗场半复消色差金相物镜（20X）
|
|
转换器
|
内定位五孔明暗场转换器，带 DIC 插槽
|
|
调焦机构
|
透、反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置 . 内置100-240V宽电压系统，5W 暖色LED透射光照明系统，上下光独立可控
|
|
载物台
|
6 英寸三层机械移动平台，低手位 X、Y 方向同轴调节 ；平台面积 445mm×240mm，反射照明移动范围 ：158mm×158mm ；透射照明移动范围 ：100×100mm ；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动 ；玻璃载物台板（透、反射用）
|
|
照明系统
|
明暗场反射照明器 , 带可变孔径光阑，视场光阑 , 中心均可调 ；带明暗场照明切换装置 ；带滤色片插槽与偏光装置插槽
|
|
摄影摄像
|
0.35X/0.5X/0.65X/1X 摄像接筒，C 型接口，可调焦
|
|
其他
|
起偏镜插板，固定式检偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板 ；反射用干涉滤色片组；高精度测微尺；DIC 微分干涉组件。
|
