Zebra波片延迟度检测仪针对科研和工业客户提供高精度全自动波片相位延迟度测量。本设备操作简单,检测过程迅速,配套软件中集成了波片设计功能,检测报告自动生成功能,对客户的整个产品生产过程提供全面的服务。
Features
检测类型多样
本设计具有测试精度高,测试数据稳定的特点,非常适合波片类产品的延迟度检测,具有多种检测方式可选择,可根据客户的需求灵活选择。
快速测量
快速的采样方法、高信噪比的信号探测、自动化的测量软件,在保证高精度和准确度的同时,20秒内快速单次测量
波片设计
测量软件中集成了波片设计程序,可以方便的进行单点、多点、宽带波片,胶合波片等的设计。
一键式检测,并生成测试报告
本设计配有操作软件,软件界面简洁,操作方便,使得任何人都可以轻而易举的完成产品的检测,并能够生成客户定制的测试报告。
Applications
本设计适合于科研和工业产品环境中的产品过程以及最终检测,用于检测波片或者其他偏振器件的相位延迟,有检测精度高,测试波长灵活的优点。
1:可以用于检测波片等具有0度入射角的产品的延迟度角。
2:可以检测不同材料,不同级别以及胶合波片
3:可以用于检测产品镀膜的相位漂移
4:可以进行波片设计
Specifications
设备型号
|
Zebra 500
|
波长范围
|
400-1640nm
|
单次测量时间
|
典型20s-120s,取决于测量对象
|
光源模块波长
|
520nm (typical)
|
测量精度
|
优于1/500wave
|
动态测量重复性
|
优于1/600wave
|
静态测量重复性
|
优于1/700wave
|
入射角度
|
0度
|
光学结构
|
PSCA
|
样品台尺寸
|
可放置样品尺寸:直径150 mm
|
设备尺寸
|
670mm X 500mm X 500mm
|
工作温度
|
23+/-3℃
|
Zebra 500检测报告
一:测试样品(Sample)
石英波片
二:测试设备与条件(Equipment and Factor)
Zebra 500波片延迟度测量仪
WAP_Thinker 延迟度测试软件
波长521.5nm激光模块, 温度28.5度
三:测试方法(Method)
1:产品不移动,多次检测,用于分析设备检测的重复性
2:取放产品检测,考虑到人员因素,环境因素的设备检测的精度
四: 测试数据
1: 重复测试数据
测试样品:5片不同级次与延迟度的石英波片,每片测量3次
测试项目:波片相位延迟度,光轴角度
测试结果:测量重复性优于1/700WAVE,光轴定位精度优于±1°
重复性测试
|
延迟度数据(°)
|
Difference
|
1
|
2
|
3
|
1
|
60.5323
|
60.5637
|
60.7778
|
0.2455
|
2
|
60.894
|
60.9846
|
60.7779
|
0.2067
|
3
|
60.864
|
60.9089
|
60.586
|
0.3229
|
4
|
33.7668
|
33.7426
|
33.6609
|
0.1059
|
5
|
33.6153
|
33.5718
|
33.5751
|
0.0435
|
6
|
33.6592
|
33.7607
|
33.7638
|
0.1046
|
7
|
79.5372
|
79.3809
|
79.366
|
0.1712
|
8
|
79.0687
|
78.6525
|
79.02144
|
0.4162
|
9
|
79.0025
|
79.0069
|
78.9225
|
0.0844
|
10
|
291.3747
|
291.5809
|
291.7571
|
0.3824
|
11
|
291.5542
|
291.9964
|
291.8689
|
0.4422
|
12
|
291.4957
|
291.687
|
291.7931
|
0.2974
|
13
|
288.4781
|
288.322
|
288.4181
|
0.1561
|
14
|
288.7203
|
288.6304
|
288.6122
|
0.1081
|
15
|
288.8569
|
288.6061
|
288.6585
|
0.2508
|
公差(+/-)(3sigema)
|
|
|
0.228702
|
|
|
|
|
1/787WAVE
|
重复性测试
|
光轴角测量数据(°)
|
Difference
|
1
|
2
|
3
|
1
|
66.4652
|
66.4161
|
66.6581
|
0.242
|
2
|
67.3735
|
67.4286
|
66.6581
|
0.7705
|
3
|
67.5821
|
67.6029
|
67.6525
|
0.0704
|
4
|
45.1771
|
45.0778
|
44.7052
|
0.4719
|
5
|
44.9095
|
45.111
|
45.3719
|
0.4624
|
6
|
44.6815
|
45.1267
|
45.7648
|
1.0833
|
7
|
48.8578
|
48.8861
|
48.8546
|
0.0315
|
8
|
43.338
|
43.3162
|
43.259
|
0.079
|
9
|
46.7821
|
46.7187
|
46.6116
|
0.1705
|
10
|
138.7836
|
138.8357
|
139.1634
|
0.3798
|
11
|
138.9208
|
138.7756
|
138.339
|
0.5818
|
12
|
138.1988
|
138.2756
|
138.44
|
0.2412
|
13
|
136.4343
|
136.4503
|
136.588
|
0.1537
|
14
|
137.3905
|
137.4747
|
137.5578
|
0.1673
|
15
|
137.4353
|
136.3259
|
136.2877
|
1.1476
|
公差(+/-)
(3sigema)
|
|
|
|
0.84261
|
2:精度测试分析
测试样品:共5片不同级次与延迟度的波片,每片取放测量9次
测试项目:波片相位延迟度,光轴角度
测试结果:其测量重复性优于1/500WAVE要求
测量次数
|
样品
|
1
|
2
|
3
|
4
|
5
|
1
|
60.5423
|
33.7318
|
79.5642
|
291.4237
|
288.7032
|
2
|
60.5737
|
33.6626
|
79.4814
|
291.3842
|
288.531
|
3
|
60.6758
|
33.7613
|
79.3614
|
291.5566
|
288.3181
|
4
|
60.794
|
33.5153
|
79.4687
|
291.5412
|
288.5403
|
5
|
60.8956
|
33.5518
|
79.0525
|
291.8964
|
288.6304
|
6
|
60.7779
|
33.7251
|
79.0112
|
291.8743
|
288.8162
|
7
|
60.864
|
33.7312
|
79.1035
|
291.3957
|
288.6137
|
8
|
60.9089
|
33.4083
|
79.5069
|
291.287
|
288.4161
|
9
|
60.586
|
33.5928
|
78.9885
|
291.4961
|
288.5565
|
公差(+/-)
|
|
|
|
|
0.2987
|
(3sigema)
|
|
|
|
|
1/603wave
|
五:测试结论
按照3倍标准方差分析, Zebra500设备精度优于1/500wave,光轴角测量精度优于2度。